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Applications

Inspection de Semiconducteurs

Le marché sans cesse croissant des ordinateurs et technologies de communications pousse la demande de plaquettes de semi-conducteurs. Durant leur production, ces plaquettes sont minutieusement contrôlées contre des défauts qui causent des inconsistances dans le produit final. Avec les plaquettes devenant de plus en plus petites et que les défauts en font de même suivant la loi de Moore, la capacité de les mesurer avec précision, rapidement et à des échelles de plus en plus petites devient encore plus importante.

Pour mesurer ces defaults sans contact, le speckle de la lumière laser est utilisé. En examinant le motif d’interférence créé par l’illumination de lasers avec grande longueur de cohérence, les défauts de la surface peuvent être visualisés en trois dimensions et à haute résolution.

Les paramètres clé pour une utilisation réussie du speckle sont une grande stabilité de bande passante et de pointé. Tout mouvement de chaque paramètre peut amener une mauvaise mesure, résultant à une bonne plaquette d’être rejetée. Parallèlement au besoin de fiabilité à long terme, typiquement en opération 24h/24h avec des arrêts annuels pour service, et un excellent contrôle en température sans utiliser un refroidissement par eau ou air (forcé), la tête laser doit intelligemment conçue.

Le laser Finesse est un choix idéal pour l’inspection de semi-conducteurs avec sa forte puissance, performance stable et fiable qui permettent une installation sans soucis.

  • opus - jusqu’à 6W en puissance dans un boîtier compact
  • finesse - Jusqu’à 16W, faible bruit, basses exigences en contrôle de température

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